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洁净室之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
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20世纪80年代大规模集成电路和超大规模集成电路的迅速发展,大大促进了洁净工程的发展,集成电路生产工程从64K位到4M位,特征尺寸从2.04m到0.84m。当时根据实践经验,通常空气洁净受控环境的控制尘粒粒径与线宽的关系为1:10,因此洁净工程工作者研制了超空气过滤器,可将粒径>0.1pm的微粒去除到规定范围。根据大规模、超大规模集成电路生产的需要,高纯气体、高纯水和高纯试剂的生产工程也得到很快的发展,从而使服务于集成电路等高工程产品所需的洁净工程都得以高速发展。
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这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更。紊流主要决定于雷诺数,广州车间洁净工程,也就是主要受流速的影响,但是如果采用一个过滤器顶送的送风形式,则即使流速极低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。
所以,概括地说,乱流洁净室的作用原理是:当一股干净气流从送风口送入室内时,迅速向四周扩散、混合,同时把差不多同样数量的气流从回风口排走,这股干净气流稀释着室内污染的空气,把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了,一直达到平衡。所以气流扩散得越快,越均匀,稀释的技果就越好。
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